昌安芯技术(上海)有限公司
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工艺流程(常规):液态→气化→纯化→终端过滤→main→submain→take off
系统组成:包含储存、输送、分配、侦测控制四部分。其中“存储”指气源部分(特气柜GCGR),“输送”指配管部分(有双套管、有加热保温等),“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB、VMP),“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)
大宗气过滤器阀组